產品內容介紹
產品特點PRODUCT FEATURES
無塵烘箱廣泛用于半導體晶圓、液晶、光學模組、攝像頭模組和其他對烘烤要求較高的零件以及設備的熱處理/干燥或老化，也適用于安裝在潔凈室環境中。100級的清潔度主要通過使用初效過濾器，HEPA高效過濾器和前后層流循環系統來實現的，在加熱或冷卻過程中提供穩定的性能。
簡單便捷的PID 微處理器溫度控制范圍可從環境溫度 +15°C至 200°C 范圍內設置。無塵烘箱采用PT100鉑傳感器測量實際的腔室溫度， 0.3μmHEPA高效過濾器，對空氣進行有效循環過濾。還可以選配流量計和NPT配件，將惰性氣體引入腔室內進行特殊工藝烘烤。
無塵烘箱外材質為SPCC鋼板經過蘇打水清洗后粉體烤漆處理；內部是耐腐蝕的不銹鋼。配備四個可調節的穿孔不銹鋼托架，支架和機身易于拆卸，便于清洗。
安全功能包括獨立超溫保護，相序保護，斷電保護等多重保護機制，確保使用安全。設有安全門，烘烤降溫到指定溫度后才可以打開門，確保操作人員操作安全。
產品特點
●所有焊接和密封結構確保持續低顆粒數；
●內腔采用不銹鋼（304型），耐腐蝕；
●內膽采用滿焊處理，管路采用無縫不銹鋼管件焊接處理；
●外部烤漆為白色粉末涂層，可提供持久的防腐蝕保護；
●利用玻璃纖維絕緣，以確保機柜較低的表面溫度；
●重型門雙密封保溫結構；
●獨立的超溫保護；
●每個烤箱都是完全組裝的和通過工廠的獨立測試；
●耐熱HEPA空氣過濾輸送系統；
●所有再循環空氣進行循環過濾，不使用環境潔凈室空氣；
●在過濾器需更換時，能夠通過空氣壓力表了解；
●高容量水平空氣再循環系統和電加熱系統可實現性能溫度。
產品參數
PRODUCT PARAMETERS
溫度范圍 | 室溫.+20~200°C |
控制精度 | +/- 1.0°C |
溫度分布精度 | ±2°C(在100°C)，±3°C(在150°C) |
溫度提升時間 | 約25min（室溫，→150°C）?？涨皇?/span> |
操作功能 | 可選固定溫度或程序操作 |
內部尺寸 高X寬X深 | 910x620x620(mm) |
外部尺寸 高X寬X深 | 1750x855x1030(mm) |
工作空間容量 | 350升（12.3立方英尺） |
過濾裝置 | 150mm HEPA耐高溫高效過濾器 |
電源 | 3相380V |
選配組件
OPTIONAL COMPONENT
1、溫度記錄器（紙質化或無紙化）
2、可編程控制器、以太網和485/232通信
3、用于運輸和安裝的無塵室包裝
4、層架
5、MES通訊設置
定制服務
CUSTOM SERVICE深圳怡和興可以提供不同程度的均勻性、尺寸、溫度范圍；如果您有特定的要求或規格，請根據您的需求與我們聯系，以便我們確保設備的設計、測試和調整能夠滿足您的要求。
