精密半導體潔凈車間用無塵烘箱

無塵烘箱廣泛用于半導體晶圓、液晶、光學模組、攝像頭模組和其他對烘烤要求較高的零件以及設備的熱處理/干燥或老化,也適用于安裝在潔凈室環境中。100級的清潔度主要通過使用初效過濾器,HEPA高效過濾器和前后層流循環系統來實現的,在加熱或冷卻過程中提供穩定的性能。
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產品特點PRODUCT FEATURES


無塵烘箱廣泛用于半導體晶圓、液晶、光學模組、攝像頭模組和其他對烘烤要求較高的零件以及設備的熱處理/干燥或老化,也適用于安裝在潔凈室環境中。100級的清潔度主要通過使用初效過濾器,HEPA高效過濾器和前后層流循環系統來實現的,在加熱或冷卻過程中提供穩定的性能。

簡單便捷的PID 微處理器溫度控制范圍可從環境溫度 +15°C至 200°C 范圍內設置。無塵烘箱采用PT100鉑傳感器測量實際的腔室溫度, 0.3μmHEPA高效過濾器,對空氣進行有效循環過濾。還可以選配流量計和NPT配件,將惰性氣體引入腔室內進行特殊工藝烘烤。

無塵烘箱外材質為SPCC鋼板經過蘇打水清洗后粉體烤漆處理;內部是耐腐蝕的不銹鋼。配備四個可調節的穿孔不銹鋼托架,支架和機身易于拆卸,便于清洗。

安全功能包括獨立超溫保護,相序保護,斷電保護等多重保護機制,確保使用安全。設有安全門,烘烤降溫到指定溫度后才可以打開門,確保操作人員操作安全。

產品特點

●所有焊接和密封結構確保持續低顆粒數;

內腔采用不銹鋼(304型),耐腐蝕;

內膽采用滿焊處理,管路采用無縫不銹鋼管件焊接處理;

外部烤漆為白色粉末涂層,可提供持久的防腐蝕保護;

利用玻璃纖維絕緣,以確保機柜較低的表面溫度;

重型門雙密封保溫結構;

獨立的超溫保護;

每個烤箱都是完全組裝的和通過工廠的獨立測試;

耐熱HEPA空氣過濾輸送系統;

所有再循環空氣進行循環過濾,不使用環境潔凈室空氣;

在過濾器需更換時,能夠通過空氣壓力表了解;

高容量水平空氣再循環系統和電加熱系統可實現性能溫度。

產品參數

PRODUCT PARAMETERS


溫度范圍

室溫.+20~200°C

控制精度

+/- 1.0°C

溫度分布精度

±2°C(在100°C),±3°C(在150°C)

溫度提升時間

25min(室溫,→150°C)??涨皇?/span>

操作功能

可選固定溫度或程序操作

內部尺寸

X寬X深

910x620x620(mm)


外部尺寸

X寬X深

1750x855x1030(mm)


工作空間容量

350升(12.3立方英尺)

過濾裝置

150mm HEPA耐高溫高效過濾器

電源

3380V


選配組件

OPTIONAL COMPONENT


半導體烤箱1

             1、溫度記錄器(紙質化或無紙化)

             2、可編程控制器、以太網和485/232通信

             3、用于運輸和安裝的無塵室包裝

             4、層架

             5、MES通訊設置




 

 

 

 

 

 


定制服務

CUSTOM SERVICE深圳怡和興可以提供不同程度的均勻性、尺寸、溫度范圍;如果您有特定的要求或規格,請根據您的需求與我們聯系,以便我們確保設備的設計、測試和調整能夠滿足您的要求。 

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