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        半導體潔凈烘箱

        半導體潔凈烘箱

        產品詳情

        一、 適用區域

        本烘箱適合于潔凈車間內使用,適用于高精密半導體中烘干,膠水固化,精密光學元件清洗后烘干等熱處理。

        二、 設備特點

        1. SUS304 1.5mm不銹鋼板,全滿焊工藝;

        2. 箱內風道內設有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器。可使用換氣和不換氣模式,可以使箱內保證微正壓,以保證污染物不能進入內箱;

        3. 高效過濾器HEPA過濾網構造潔凈室,可以對箱體內氣體進行單向過濾和循環過濾。根據使用要求,可以滿足潔凈級別ISO Class 5(國標100級),ISO Class 6(國標1000級),ISO Class 7(國標10000級)等各種等級的需求;

        4. 配置自動充氮氣裝置,與自動開關風門進行充氮烘烤;

        5. 全新開發觸摸屏操作系統,帶高精度PID主控儀,控溫精度為±0.1℃,自動恒溫。可以保存配方,查看溫度曲線,導出升溫數據等;

        6. 根據使用要求,可以接受定制。

        三、 規格明細表

        型號

        YH-J100-ES-02

        工作穩定范圍

        常溫—150℃

        使用電壓

        三相五線380V,50Hz

        控溫精度

        ±0.1℃

        加熱功率

        6KW

        溫度均勻性

        ±3%℃

        溫度穩定度

        ±2℃

        尺寸

        工作尺寸

        H910mm*W620mm*D620mm


         

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